产(chǎn)品详情:

 

型号	YP1731 设备名(míng)称晶圆AOI
类型	晶圆脏物(wù)检测
外形尺寸	800*950*1400mm  (WxDxH)
晶圆台面高  度	850mm
适应产(chǎn)品规	格 8寸  (小(xiǎo)尺寸需改承载台部分(fēn))
定位精(jīng)度	±0.03mm  (X,Y)
定位精(jīng)度	±0.05mm  (Z)
重复精(jīng)度	±0.02mm  (X,Y)
视觉系统	500万像素黑白CCD，  遠(yuǎn)心镜头，      点光源
最小(xiǎo)缺陷尺	寸 3um
工(gōng)控系统	自主研发动作(zuò)软件
工(gōng)厂要求	電(diàn)压：  220V，  50Hz  真空：  80-99Kpa
设备功率	900W